futureC_futureC_伊欧陆系统集成_产品展示

功能简介

futureC 帮您做好这一切！EUCP 升级版

快速集成各类可编程测试设备，快速Mapping

平台与应用、仪表分离，专业软件团队模块化维护，减小测量对工程师的依赖高精度、高速度测试

所测即所得，原始数据、萃取参数自动整合文件，支持无缝上传futureD数据库

快速集成可编程设备快速Mapping 仪表变更或应用变更测试软件不需要重写高精度高速度测试强大的客户群体丰富的测量方法库
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设备通信

设备驱动与测试平台分离

丰富的设备驱动库以及模块化快速驱动开发

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MapEditor 编辑器

用户在传统晶圆地图编辑基础上有更直观体验

用户自定义 Sub Die 地图

精确映射 DUT 实际位置

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晶圆测试系统

支持自动化晶圆测试

支持自定义位置测试

支持丰富的测试结果色阶图

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数据离线分级

根据测试数据及晶圆地图

用户可以重新定义数据分级条件

分级信息重定义，数据覆盖原晶圆地图

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多种测试模式

支持测试结果选择性复测

支持断点续测

挑选指定位置测试

测试报警与报警器提醒

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测试结果分级

用户自定义分级条件

设置测试结果接受/拒绝接受的条件

最大支持4096个分级与色阶

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多测量模式

单点测试测量

单个位置重复测试测量

支持碎片测量与整晶圆测量

图形化曲线显示二维曲线，三维曲线、射频曲线显示与示波器波形

展示测试信息与扼要数据统计，如测试时间和成品率

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设置测试菜单

自动列出集成设备及应用输入输出参数

用户自定义测试流程作为测试菜单

导入/导出测试菜单

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所测即所得

文件数据格式化保存

用户自定义测试结果输出项目与顺序

拖拽功能使操作便捷快速

数据保存快速开始测试Mapping 与测量控制工厂自动化 ABUIABAEGAAgtoXzkgYoqMunygQwjgo4mAU

SECS/GEM 协议组件

无缝衔接 futureD（web 大数据管理平台）

SEMI E5-0600（SECS-II）标准

SEMI E30（GEM）标准

SEMI E37（HSMS）标准

futureC 安装环境 futureC 测试系统典型速度值使用环境

无特别环境要求

注：futureC支持实时数据保存与断点续测，避免意外带来的数据丢失问题

测试速度与测试PC的配置和运行状态有关，以下典型值运行资源为Win10 64bit，CPU I7-9，16G内存：

PC 端配置推荐
操作系统	Win10/Win11
处理器	Intel 酷睿 i3 四核 3.6 GHz
显卡	独立显卡 1G
内存	8 GB 运行内存
硬盘	500GHz
浏览器	不涉及
显示器分辨率	1920×1080

文件读写	0.003s/1000行
仪表IO	85ms/次
2Port-S参数（201点,IFBW=10KHz）	200ms/DUT
DC扫描（K2400，AutoRange）	3.9s/50 point

附录1：常用驱动举例

设备商	可编程设备类别	设备型号
Keysight(原Agilent)	DC Power Supply	Agilent E3631 Series
		Agilent 6625A, 6626A,6628A, and 6629A
		Agilent N6700 Series
	DC Source Meter	HP 4142B
	Dynamic Signal Analyzer	Agilent 35670
	ENA	Agilent E5071 Series
		Agilent E8362 Series
		Agilent E8363 Series
	LCR Meter	Agilent LCR E49XX Series
	LCR Meter	Agilent LCR 4284A
	Lightwave Component Analyzer	Agilent N4373
	Moltimeter	Agilent 34410
		Agilent 34411
		Agilent 3458A
		Agilent 34401
	Oscilloscope	Agilent 86100 Series
		Agilent 54830 Infiniium Series
		Agilent InfiniiVision 6000 Series
	PNA-X	Agilent PNA-X Series
	Semiconductor Parameter Analyzer	Agilent 4156 Series
		Agilent B1500 Series
		Agilent B1505 Series
	DAQ/Switch	Agilent 34972A
		Agilent B2201A
		Agilent 5250A
		HP 4085M
	Polse/Data Generator	Agilent 81110A
	Polse/Data Generator	Agilent 81104A
	Function / Arbitrary Waveform Generator	Agilent 33500 & 33600 Series Waveform Generators
	NFA Series	Agilent N897xA
	Agilent X-Series Signal Analyzer	PXA Signal Analyzer N9030A
		MXA Signal Analyzer N9020A
		EXA Signal Analyzer N9010A
		CXA Signal Analyzer N9000A
NI	Function / Arbitrary Waveform Generator	NI 5402
	DAQ/Switch	NI 6501
	DAQ/Switch	NI 6221
TEK	Semiconductor Parameter Analyzer	Keithley 4200A-SCS
	DC Source Meter	Keithley 2400 Series
		Keithley 2500 Series
		Keithley 2600 Series
	DAQ/Switch	Keithley 2700 Series
		Keithley 7001
		Keithley 700 Series
	Electrometer	Keithley 6517 Series
	Function / Arbitrary Waveform Generator	TEK AFG 1000
		TEK AFG 2000
		TEK AFG 3000
		TEK AWG 4000
	Oscilloscope	TEK MDO 3000 Series
	Oscilloscope	TEK MDO 4000 Series
R&S	VNA	ZVA Series
R&S	Signal and Spectrum Analyzer	RSFSW Series
Anritsu	VNA	MS462XX Series
Anritsu	VNA	AU37XX Series
SRS	Lock-In Amplifier	SR830,SR810
YOKOGAWA	Optical Spectrum Analyzer	AQ6370C/AQ6370D/AQ6373/
YOKOGAWA	Optical Spectrum Analyzer	AQ6373B/AQ6375/AQ6375B
Instrument Systems	Spectrometer	CAS 120
Instrument Systems	Spectrometer	CAS 140CT
Maury	Tuner	Maury Automated Tuner Series
Cascade	Prober Station	Cascade Manual Probe Station Foll Series
		Cascade Semi-auto Probe Station Foll Series
		Cascade Foll-auto Probe Station Foll Series
		Cascade High Power Probe Station Foll Series
Newport	Monochromator	Oriel Cornerstone 260
Newport	Positioning Stages	Nano PZ M562
Auriga	Polse IV System	Auriga 4850
EOULU	Plug-in	Matlab Controller
EOULU	Plug-in	Third Party COM Object or System
Iwatsu	High Power Static Tester	CT3200
Iwatsu	High Power Static Tester	CT10400
STESLA	High Power Static Tester	Foll Series
DTESLA	High Power Dynamic Tester	Foll Series
ASTEK	DC Power Supply	IT6100 Series
		IT6874
		IT8500

附录2：测试应用驱动快速选型

应用选型	推荐仪表组合	测量项目库
DC/CV	Keysight B1500A -B1511B HRSMU 测量范围200 V / 1 A /，分辨率1fA -B1511A MPSMU测量范围100 V / 0.1 A/，分辨率 10 fA -B1510A HPSMU 测量范围100 V / 0.1 A/，分辨率 10 fA -B1514A MCSMU 脉冲范围30 V / 1 A（0.1 A 直流）50 µs 最小脉宽，2 µs 分辨率 -B1520A MFCMU 频率范围 1 kHz~5 MHz，分辨率1 mHz -SCUU -GNDU Keysight B2201A -B2211A ×4 12ch low leakage switch modole	Vth/Gm/Vknee/Vclamp/Rds/Idsat/Idlin... ID-VD ID-VG CurveFit BV(BVCEO/BVCBO/BVGSS/BVDSS) β CV Sweep Cp-D… Polse IV
RF	Keysight B1500A - B1511B HRSMU 测量范围200 V / 1 A /，分辨率1fA - B1511A MPSMU测量范围100 V / 0.1 A/，分辨率 10 fA - B1510A HPSMU 测量范围100 V / 0.1 A/，分辨率 10 fA - B1514A MCSMU 脉冲范围30 V / 1 A（0.1 A 直流）50 µs 最小脉宽，2 µs 分辨率 - B1520A MFCMU 频率范围 1 kHz~5 MHz，分辨率1 mHz - SCUU - GNDU Keysight N5227B PNA - Bias Modole/Bias Tee Wincal Kohzu Positioner - CURX	S1P S2P S3P S4P 偏置电压下S2P测试 TraceFetch P1dB P3dB 功率扫描三阶交调IP3 Noise Figure噪声系数自动校准相位扫描
Si-Photoelectric	Keysight LCA N4375E Keysight B2902A电源表 Keysight N7747A光功率计 Keysight N7786B偏振器 Keysight 8164B可调谐光源 - 81608A Glsun SUN-FSW-1X8光开关 PI E-712/ PI Hex-Nano	自动耦合拍频测试功率扫描波长扫描光电S参数测试 OE-光响应度测试 OE-扫描波长测试光电流 OE-扫描光功率测试光电流 IL PDL FiberArray
Eye Diagram	Keysight 11713A衰减器 Keysight 34401A数字万用表 Keysight E3631A电源 Keysight 86100A眼图分析仪，带宽超过50 GHz，时域反射计/时域传输（TDR/TDT） Anritsu MP1800A BERT -MP1800A-001 GPIB -MU181000B 12.5 GHz 4port Synthesizer -MU183040B 28G/32G bit/s High Sensitivity ED -MU195040A 21G/32G bit/s SI ED	Thd总谐波失真 EyeAmplitude EyeCrossing EyeSNR EyeJitterPP EyeJitterRMS EyeFallTime EyeRiseTime
Solder Ball	Keysight B1500A -B1511B HRSMU 测量范围200 V / 1 A /，分辨率1fA -B1511A MPSMU测量范围100 V / 0.1 A/，分辨率 10 fA -B1510A HPSMU 测量范围100 V / 0.1 A/，分辨率 10 fA -B1514A MCSMU 脉冲范围30 V / 1 A（0.1 A 直流）50 µs 最小脉宽，2 µs 分辨率 -GNDU Keysight3458A	Ileakage Rs/Rc
MEMS	Keithley 2400 Keysight 5250A低漏电开关矩阵 -E5252A ×4 pcs ，12channel Output Matrix Switch Keysight LCRE4980 Keysight 34410A Keysight 35670 Keysight E3631A NI PCI-6221	Qvalue Risolation Rdson CV Bandwith
Reliability Test	Keysight B1500A - B1511B HRSMU 测量范围200 V / 1 A /，分辨率1fA - B1511A MPSMU测量范围100 V / 0.1 A/，分辨率 10 fA - B1510A HPSMU 测量范围100 V / 0.1 A/，分辨率 10 fA - B1514A MCSMU 脉冲范围30 V / 1 A（0.1 A 直流）50 µs 最小脉宽，2 µs 分辨率 - B1530A WGFMU×2 直流输出和任意波形生成，10 ns 编程分辨率、高速电压/电流测量（200 MSa/s，5ns 采样率） - GNDU Keysight B2201A -B2211A ×4 12ch low leakage switch modole	TDDB HCI NBTI Fast-NBTI EM Ramp LifeTime
High Power Test	Keysight B1505A -B1510A HPSMU 测量范围100 V / 0.1 A/，分辨率 10 fA -B1512A HCSMU 20A/20 V（脉冲）；1 A/40 V（直流) -B1513C HVSMU 1500 V/8 mA；3000 V/4 mA（脉冲和直流） -B1520A MFCMU 频率范围 1 kHz~5 MHz，分辨率1 mHz -GNDU -N1265A	PowerVoltageOn PowerCurrentOn Measure I Measure V Vth/Idmax/Rdson BV(BVCEO/BVCBO/BVGSS/BVDSS) IdVg IdVd CV Sweep Polse Seep