UniCheck 是一款小巧、灵活且功能强大的拉曼光谱仪,专为现场应用与即时分析设计。
搭载可切换双雷射与光纤探头系统,UniCheck 提供无损检测与多样材料分析的终极解决方案
UniDronEFEM-Semi 是一款专门针对晶圆制程所设计的半自动共轭焦显微拉曼光谱仪,具备创新非破坏性分析能力,可用于检测晶圆中的残留应力、晶格缺陷、掺杂浓度、材料结构与成分变化,并广泛应用于半导体制程各阶段如晶锭切片、晶圆切割、研磨、CMP、外延、薄膜沉积、蚀刻、离子注入与退火等工序。