X 轴

Y 轴

Z 轴

Theta 轴

1

行程

301 mm

301 mm

20 mm

10◦

2

定位最高精度 *

≤ 1 μm

≤ 0.05 μm

≤ 1μm

± 0.003°

3

速度 **

≥ 50 mm/s

≥ 50 mm/s

≥ 20 mm/s

/

最大速度

150 mm/s

150 mm/s

35 mm/s

5

晶圆不平整度适配能力 *

100 μm

6

mapping 移动平均时间 ***

最小值

典型值

最大值

< 500 ms

< 1 s

< 3 s ****

1

光屏蔽

≥ 150 dB **

2

EMI 屏蔽

≥ 20 dB 0.5-20 GHz (typical)

3

频谱噪音水平

≤ -150 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)

4

系统 AC 噪声

≤ 15 mVp-p (≤ 1 GHz)

垂直固有频率

2.5 ~ 2.7 Hz

水平固有频率

垂直阻尼（可调节）

水平阻尼

供气压力

最大承重

隔振效率

受外界激励时反应时间

防震级别

1

CCD 或 CMOS 数量

3 个

2

行程

12.5 mm

3

移动分辨率

<2 μm

4

最大速度

5 mm/s

5

放大倍率典型范围 *

500 ~ 2000 倍或更高

6

典型光学镜头分辨率 **

物理 11 μm，成像计算增强至 5.5 μm 或更小

7

成像计算

10 个 Eoulu 著作权算法

1

CCD 或 CMOS 数量

1 个

2

行程

同载物台移动范围

3

移动分辨率

< 2 μm

4

最大速度

5 mm/s

5

放大倍率典型范围 *

200 倍或更高

6

典型光学镜头分辨率 **

4.5 μm

7

成像计算

3 个 Eoulu 著作权算法

1

温度

室温

高低温

2

最大可工作温度范围 *

高低温常见可选温度范围 **

-60 ~ 150°C

-60 ~ 200°C

-60 ~ 300°C

-40 ~ 150°C

-40 ~ 200°C

-40 ~ 300°C

0 ~ 100°C

0 ~ 200°C

室温 ~ 150°C

室温 ~ 200°C

室温 ~ 300°C

4

温度精准度

± 1°C

5

温度分辨力

0.1°C

6

常温常压 Triax Chuck 漏电

≤ 231 fA

常温常压 Triax Chuck 噪声

8

制冷模式

液冷和气冷可选

9

液冷温控制冷和加热时间 ***

（典型经验值）

- 60°C → 25°C：23 min

25°C → 300°C：28 min

300°C → 25°C：25 min

25°C → - 60°C：37 min

气冷温控制冷和加热时间 ***   

（典型经验值）

- 60°C → 25°C：9 min   

25°C → 300°C：25 min

300°C → 25°C：12 min

25°C → - 60°C：29 min

11

最大加热功率

5.5 kW

12

最大制冷功率

12.5 kW

13

最大冷媒输运速度

5 m/s

14

最大输运压力

4 bar

15

最大耐压（高功率特殊选项）****

10000 V

16

最大耐流（高功率特殊选项）****

800 A

使用申明

1. 需严格按照本手册中“安装环境”和“存储环境”要求的温度和湿度，进行安装和存放。

2. 设备出厂前，需在载物台上放置晶圆片做性能验证、可靠性测试，因此， 载物台表面或板上产生划痕无法完全避免，划痕不影响设备使用，不代表产品质量有问题。探针台活动

3. M1 高低温探针台出厂前，需对温控系统和高低温载物台做升降温测试，因此载物台表面上产生烘烤痕迹（例如载物台颜色变化、水汽痕迹）无法完全避免，烘烤痕迹不影响设备使用，不代表质量有问题。

1. 每月清洁一次探针平台，用柔软的无尘布清除载物台上的脏污，如果在使用过程产生了较多的灰尘、碎屑，需要增加清洁的频率。

2. 不要在载物台上使用工业级异丙醇 (IPA) 或任何其他化学品，使用不当溶剂或研磨剂可能会损坏探针台。

1.除待测器件外，载物台不宜放置任何物品。

2.如有螺丝松动，请及时按照力矩要求小心并均匀拧紧，必要时联系 Eoulu 售后团队处理。

3.对于全自动系统，在维护或者未使用期间，要确保电源已正确关闭，并且不会在完成维护之前或使用前意外重新启动。

1. 对于高使用率的探针台，建议每年进行一次载物台的操作检查和保养。

2. 如下服务只能由 Eoulu 团队执行：

   1. 载物台 X/Y/Z/Theta Stage 的调平和校准

   2. 载物台的拆卸和安装

21

Eoulu 高性能温控 Chuck

1

机械手臂行程

手臂轴（R 轴）

630 mm

旋转轴（θ 轴）

340°

升降轴（Z 轴）

300 mm

2

平均搬运速度

手臂轴（R 轴）

430 mm/sec

旋转轴（θ 轴）

240°/sec

升降轴（Z 轴）

180 mm/sec

3

最高搬运速度

手臂轴（R 轴）

640 mm/sec

旋转轴（θ 轴）

340°/sec

升降轴（Z 轴）

250 mm/sec

手臂轴（R 轴）

旋转轴（θ 轴）

升降轴（Z 轴）

5

机械手重复精度

± 0.1 mm 以内

6

下托真空吸附式

校准器硬件指标

7

校准精度

晶圆中心 ± 0.1 mm 以内，晶圆缺边（缺口）± 0.1° 以内

8

校准时间

≤ 3 s

自动上下片运行效率（运行速度 35%）

9

First Load

79 s

10

UnLoad

58 s

11

Next Load

46 s

1

单页面操作

是

2

自动对焦

包含

3

两点对齐

包含

4

自动对齐

包含

包含

选配

7

双舵操作 *

显微镜和载物台移动

8

futureI 实物界面 *

9

futureI 与 Eoulu 测试软件 futureC 无缝连接

让测试更加简单 *

10

futureI 与 Eoulu 数据软件 futureD 无缝连接

让数据处理更加简单 *

典型尺寸 (W x D x H）

~ 1650 x 1600 x 1560 mm *

外观图

存储环境

• 温度：10℃ ~ 30℃

• 湿度：≤ 50%

• 存储时间：≤ 6 个月（存储超过 6 个月需通电开机 24 小时）

现场要求

• 水平地板，承重需 ≥ 200 kg/㎡

• 震动 ≤ 100 micrometers/sec,rms (ISO Operating Theatre level) *

• 实验室洁净度：普通实验室（需符合本手册中 F1 安装环境和存储环境要求）

   推荐放置于万级及万级以上的洁净室 **

探针台

• 探针台：单相 220 VAC（电压偏差 ﹢7%，-10%）***，50/60 Hz，1800 VA，国标 10A 插座

• 显示器、主机、真空泵：单相 220 VAC（电压偏差 ﹢7%，-10%）***，50/60 Hz，1000 VA，

   国标 10 A 插座（3 路，可用插排）

• 机械手：单相 220 VAC（电压偏差 ﹢7%，-10%）***，50/60 Hz，1000 VA，国标 10 A 插座

高低温温控系统

• 温控箱：单相 220 VAC （电压偏差 ﹢7%，-10%）***，50/60 Hz，国标 10 A 插座

• 水冷机：三相 380 VAC （电压偏差 ﹢7%，-7%）***，50/60 Hz，国标 32 A 5 芯航空插座

• 气冷机：三相 380 VAC （电压偏差 ﹢7%，-7%）***，50/60 Hz，国标 32 A 5 芯航空插座

压缩干燥空气 ******   (CDA)

• 气压：4.5 ~ 8 bar (65 ~ 116 psi)

• 露点：≤ -20°C

• 连接器外径 *****：

   半自动探针台：8 mm（CDA 1）

   全自动探针台：8 mm（CDA 1）、8 mm（CDA 2）

高低温探针台

高低温测试 Chuck 不结霜条件：

• 气压：4.5 ~ 8 bar (65 ~ 116 psi) ******

• 流量：

   液冷温控：≥ 100 l/min @ 4.5 bar

   气冷温控：≥ 400 l/min @ 4.5 bar

• 露点：≤ -70°C（当最低测试温度为 -60℃ 时）

   含油量：≤ 0.01 mg/m³ ****

• 连接器外径 *****：

   半自动探针台：8 mm（CDA 1）

   全自动探针台：8 mm（CDA 1）、8 mm（CDA 2）

绝对真空度

相对真空度

≤ - 0.6 bar @ 10 l/min

流量

≥ 10 l/min

连接器外径 *****

• 半自动探针台：8 mm（VAC 1）

• 全自动探针台：8 mm（VAC 1）和 8 mm（VAC 2）

附件选型

空压机推荐选型

温度范围（液冷温控）

室温

-60 ~ 150°C

-60 ~ 200°C

-60 ~ 300°C

-40 ~ 150°C

-40 ~ 200°C

-40 ~ 300°C

0 ~ 100°C

0 ~ 200°C

室温 ~ 150°C

室温 ~ 200°C

室温 ~ 300°C

真空泵推荐选型

-

硬件服务

（安装）

• 整机安装（量产模式）

SRV-301

• 整机安装（分析用模式）

SRV-501

• 配件安装

SRV-305

• 系统重装

SRV-306

• 仪表连接

SRV-307

• 接地服务

SRV-308

硬件服务

（校准）

• 精度校准

SRV-503

• 温度校准

SRV-505

• 机械手校准

SRV-506

硬件服务

（培训）

• 机台操作培训（量产模式）

SRV-303

• 机台操作培训（分析用模式）

SRV-502

• 射频校准培训

SRV-202

• 仪表操作培训

SRV-203

（其他）

• 机台 PM

PM-F1

• 机台搬迁

RELO-F1

• 陪同服务

SRV-201

软件服务

（安装）

• 现场安装

• 远程安装

软件服务

（更新）

• 平台功能

SRV-607

• 平台版本

SRV-606

• 测试脚本

SRV-608

• 仪表驱动

SRV-609

• 插件更新

SRV-701

软件服务

（培训）

• 软件操作

• 驱动开发

• 脚本开发

软件服务

（其他）

• 使用咨询

• 异常排查

• 陪同服务

• IV 测试

• CV 测试

• RF 测试

• 硅光测试

• 蓝膜测试

• 夹具测试

• MMIC 测试

• 跑片扎针

• 加急服务

• 保险服务

• 卸货服务

• 专车服务

• 仓储服务

• 上楼服务

• 清理服务