X-axis

Y-axis

Z-axis

Theta-axis

1

行程

301 mm

301 mm

≥ 10 mm

10◦

2

定位最高精度 *

≤ 0.05 μm

≤ 0.05 μm

≤ 1μm

± 0.003°

3

速度 **

≥ 50 mm/s

≥ 50 mm/s

≥ 20 mm/s

/

最大速度

150 mm/s

150 mm/s

35 mm/s

5

晶圆不平整度适配能力 *

100 μm

6

mapping 移动平均时间 ***

最小值

典型值

最大值

< 500 ms

< 1 s

< 3 s ****

7

XY 位置锁定 *****

最小值

典型值

最大值

0.02 μm

0.038 μm

1.5 μm

8

Z 位置锁定

最小值

典型值

最大值

0.65 μm

3.5 μm

15 μm

1

光屏蔽

≥ 150 dB **

2

EMI 屏蔽

≥ 20 dB 0.5-20 GHz (typical)

3

频谱噪音水平

≤ -150 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)

4

系统 AC 噪声

5

垂直固有频率

2.5 ~ 2.7 Hz

水平固有频率

垂直阻尼（可调节）

水平阻尼

供气压力

最大承重

隔振效率

受外界激励时反应时间

防震级别

显微镜桥架

X 轴

Y 轴

Z 轴

1

行程

50 mm

50 mm

90 mm

2

最大可达定位精度

± 2 μm

± 2 μm

± 2 μm

3

速度

60 mm/s

60 mm/s

120 mm/s

显微镜 *

序号

项目

Large FOV

High Resolution

4

放大倍率典型范围 **

225 倍

500 ~ 2000 倍或更高

5

典型光学镜头分辨率 ***

实物图

7

futureI 图像

序号

项目

大小

8 英寸

12 英寸

1

温度

室温

高低温

室温

高低温

2

最大可工作温度范围 *

高低温常见可选温度范围 **

-

-60 ~ 150°C

-60 ~ 200°C

-60 ~ 300°C

-40 ~ 150°C

-40 ~ 200°C

-40 ~ 300°C

0 ~ 100°C

0 ~ 200°C

室温~ 150°C

室温~ 200°C

室温~ 300°C

-60 ~ 150°C

-60 ~ 200°C

-60 ~ 300°C

-40 ~ 150°C

-40 ~ 200°C

-40 ~ 300°C

0 ~ 100°C

0 ~ 200°C

室温~ 150°C

室温~ 200°C

室温~ 300°C

4

温度精准度

± 1°C

± 1°C

5

温度分辨力

0.1°C

0.1°C

6

常温常压 Triax Chuck 漏电

标准款：≤ 132 fA

低漏电款：≤ 65 fA

标准款：≤ 231 fA

低漏电款：≤ 65 fA

常温常压 Triax Chuck噪声

标准款：≤ 30 fA

低漏电款：≤ 16 fA

标准款：≤ 42 fA

低漏电款：≤ 16 fA

8

制冷模式

液冷和气冷可选

9

液冷温控制冷和加热时间 ***

（典型经验值）

- 60°C → 25°C：23 min

25°C → 300°C：28 min

300°C → 25°C：25 min

25°C → - 60°C：37 min

- 60°C → 25°C：23 min

25°C → 300°C：28 min

300°C → 25°C：25 min

25°C → - 60°C：37 min

气冷温控制冷和加热时间 ***

（典型经验值）

- 60°C → 25°C：9 min

25°C → 300°C：25 min

300°C → 25°C：12 min

25°C → - 60°C：29 min

- 60°C → 25°C：9 min

25°C → 300°C：25 min

300°C → 25°C：12 min

25°C → - 60°C：29 min

11

最大加热功率

5.5 kW

12

最大制冷功率

12.5 kW

13

最大冷媒输运速度

5 m/s

14

最大输运压力

4 bar

15

最大耐压（高功率特殊选项）****

10000V

16

最大耐流（高功率特殊选项）****

800 A

使用申明

1. 需严格按照本手册中“环境温度”和“环境湿度”要求进行存放。

2. 设备出厂前，需在载物台上放置晶圆片做性能验证、可靠性测试，因此, 载物台表面或探针台活动

   板上产生划痕无法完全避免，划痕不影响设备使用，不代表产品质量有问题。

3. F1 高低温探针台出厂前，需对温控系统和高低温载物台做升降温测试，因此载物台表面上产生烘

   烤痕迹（例如载物台颜色变化、水汽痕迹）无法完全避免，烘烤痕迹不影响设备使用，不代表产品质量有问题。

   量有问题。

4. 当环境温度发生变化时，设备硬件热胀冷缩为正常现象。

5. 为确保测试结果的可靠性和一致性，当探针台处于持续通电静置状态超过 24 小时（含）时，用户需

   重新执行系统校准与参数设定。

6. 单个晶圆的高精度、超长时间（超过 6h）的测量，请选配Eoulu软件应用kit和服务。

7. 如对设备有 ESD 防护需求，请在采购前明确告知。F1 探针台能够对关键模块（Chuck、机械臂手指）进行 ESD 防护，但无法保证设备所有零部件均实现 ESD 防护。部分材料、结构无法通过常规工艺实现 ESD 防护。

   进行 ESD 防护，但无法保证设备所有零部件均实现 ESD 防护。部分材料、结构无法通过常规工艺实现 ESD 防护。

   ESD 防护，强行处理可能会引发性能下降、使用寿命缩短、成本显著增加等问题，由此带来的设备故障，不在产品质保范围内。

安全申明

1. 本产品采用 24 V 直流电机驱动，工作电压等级与个人计算机（PC）相当，符合 IEC 61010-1 对24 V直流电机的工作电压等级要求。

SELV（安全特低电压）电路的规范，满足 IEC 61140 Class III 设备防触电保护等级要求。基于此设计，紧急停止装置（EMO）或电磁制动系统（EMS）不提供额外的安全增益。

注：本申明不影响设备应满足的其它机械安全要求

1. 每月清洁一次探针平台，用柔软的无尘布清除载物台上的脏污，如果在使用过程产生了较多的灰尘、碎屑，需要增加清洁的频率。

2. 不要在载物台上使用工业级异丙醇 (IPA) 或任何其他化学品，使用不当溶剂或研磨剂可能会损坏探针台。

1. 除待测器件外，载物台不宜放置任何物品。

2. 如有螺丝松动，请及时按照力矩要求小心并均匀拧紧，必要时联系 Eoulu 售后团队处理。

3. 对于全自动系统，在维护或者未使用期间，要确保电源已正确关闭，并且不会在完成维护之前或使用前意外重新启动。

1. 对于高使用率的探针台，建议每年进行一次载物台的操作检查和保养。

2. 如下服务只能由 Eoulu 团队执行：

   1. 载物台 X/Y/Z/Theta Stage的调平和校准

   2. 载物台的拆卸和安装

22

Eoulu 高性能温控 Chuck

1

单页面操作

是

2

自动对焦

包含

3

两点对齐

包含

4

自动对齐

包含

包含

选配

7

双舵操作 *

显微镜和载物台移动

8

futureI 实物界面 *

9

futureI 与 Eoulu 测试软件 futureC 无缝连接

让测试更加简单 *

10

futureI 与 Eoulu 数据软件 futureD 无缝连接

让数据处理更加简单 *

典型尺寸

(W x D x H）

~1500 x 1115 x 1530 mm *

~2224 x 1506 x 1950 mm **

最大外围尺寸

(W x D x H）

存储环境

• 温度：10℃ ~ 30℃

• 湿度：≤ 50%

• 存储时间：≤ 6 个月（存储超过 6 个月需通电开机 24 小时）

现场要求

• 水平地板，承重需 ≥ 200 kg/㎡

• 震动 ≤ 100 micrometers/sec,rms (ISO Operating Theatre level) *

• 实验室洁净度：普通实验室（需符合本手册中 F1 安装环境和存储环境要求）

   推荐放置于万级及万级以上的洁净室 **

半自动探针台

• 探针台：单相 220 VAC（电压偏差 ﹢7%，-10%）***，50/60 Hz，1800 VA，国标 10A 插座

• 显示器、主机、真空泵：单相 220 VAC（电压偏差 ﹢7%，-10%）***，50/60 Hz，1000 VA，

   国标 10 A 插座（3 路，可用插排）

全自动探针台

• 探针台：单相 220 VAC（电压偏差 ﹢7%，-10%）***，50/60 Hz，1800 VA，国标 10A 插座

• 显示器、主机、真空泵：单相 220 VAC（电压偏差 ﹢7%，-10%）***，50/60 Hz，1000 VA，

   国标 10 A 插座（3 路，可用插排）

• 机械手：单相 220 VAC（电压偏差 ﹢7%，-10%）***，50/60 Hz，1000 VA，国标 10 A 插座

高低温温控系统

• 温控箱：单相 220 VAC （电压偏差 ﹢7%，-10%）***，50/60 Hz，国标 10 A 插座

• 水冷机：三相 380 VAC （电压偏差 ﹢7%，-7%）***，50/60 Hz，国标 32 A 5 芯航空插座

• 气冷机：三相 380 VAC （电压偏差 ﹢7%，-7%）***，50/60 Hz，国标 32 A 5 芯航空插座

压缩

干燥空气 ******   (CDA)

• 气压：4.5 ~ 8 bar (65 ~ 116 psi)

• 露点：≤ -20°C

• 连接器外径 *****：

   半自动探针台：8 mm（CDA 1）

   全自动探针台：8 mm（CDA 1）、8 mm（CDA 2）

高低温探针台

高低温测试 Chuck 不结霜条件：

• 气压：4.5 ~ 8 bar (65 ~ 116 psi)

• 流量：

   液冷温控：≥ 100 l/min @ 4.5 bar

   气冷温控：≥ 400 l/min @ 4.5 bar

• 露点：≤ -70°C（当最低测试温度为 -60℃ 时）

   含油量：≤ 0.01 mg/m³ ****

• 连接器外径 *****：

   半自动探针台：8 mm（CDA 1）

   全自动探针台：8 mm（CDA 1）、8 mm（CDA 2）

绝对真空度

相对真空度

•   ≤ - 0.6 bar @ 10 l/min

流量

•   ≥ 10 l/min

连接器外径 *****

• 半自动探针台：8 mm（VAC 1）

• 全自动探针台：8 mm（VAC 1）和 8 mm（VAC 2）

附件选型

空压机推荐选型

温度范围（液冷温控）

室温

-60 ~ 150°C

-60 ~ 200°C

-60 ~ 300°C

-40 ~ 150°C

-40 ~ 200°C

-40 ~ 300°C

0 ~ 100°C

0 ~ 200°C

室温 ~ 150°C

室温 ~ 200°C

室温 ~ 300°C

真空泵推荐选型

-

CDA、VAC 连接器位置图

硬件服务

（安装）

• 整机安装（量产模式）

SRV-301

• 整机安装（分析用模式）

SRV-501

• 配件安装

SRV-305

• 系统重装

SRV-306

• 仪表连接

SRV-307

• 接地服务

SRV-308

硬件服务

（校准）

• 精度校准

SRV-503

• 温度校准

SRV-505

• 机械手校准

SRV-506

硬件服务

（培训）

• 机台操作培训（量产模式）

SRV-303

• 机台操作培训（分析用模式）

SRV-502

• 射频校准培训

SRV-202

• 仪表操作培训

SRV-203

（其他）

• 机台 PM

PM-F1

• 机台搬迁

RELO-F1

• 陪同服务

SRV-201

软件服务

（安装）

• 现场安装

• 远程安装

软件服务

（更新）

• 平台功能

SRV-607

• 平台版本

SRV-606

• 测试脚本

SRV-608

• 仪表驱动

SRV-609

• 插件更新

SRV-701

软件服务

（培训）

• 软件操作

• 驱动开发

• 脚本开发

软件服务

（其他）

• 使用咨询

• 异常排查

• 陪同服务

• IV 测试

• CV 测试

• RF 测试

• 硅光测试

• 蓝膜测试

• 夹具测试

• MMIC 测试

• 跑片扎针

• 加急服务

• 保险服务

• 卸货服务

• 专车服务

• 仓储服务

• 上楼服务

• 清理服务